#SMEE 上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800(模型)亮相中国馆,展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。#芯片战争
经济信息联播2026-11-09 09:23#SMEE 上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800(模型)亮相中国馆,展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。#芯片战争#其他 #芯片战争 #SMEE